洁净室表面导静电性能测定

发布于：2014-07-02 16:33:02 来自：暖通空调/洁净空调系统 1 9735 [复制转发]

(1）检测设备
采用符合精度要求的高阻计。
(2 ）检测方法
在测试表面上选择比较有代表区域的两个点，用导线把高阻计和两个铜圆柱形电极连接起来进行测量，其表面电阻和泄漏电阻值可以按图 9- 11所示的测试装置测量。
(3）合格标准
① 地面的面层应具有导电性能，并应能够挺时间稳定。
②表面电阻率应为 1.0Xl05~1.0 ×1012Ω ，或体权电阻率为1.0 ×10^4~1.0 ×10^11Ωcm ；泄漏电阻值应为1.0 ×10^5~ 1.0 x 10^9Ω。

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洁净室

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只看楼主我来说两句 抢板凳

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liyunlan003

这个家伙什么也没有留下。。。

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