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光刻室的防震这么处理?

发布于:2007-12-06 22:04:06 来自:暖通空调/洁净空调系统 [复制转发]
光刻室的防震这么处理呢? 光刻机这么防微振? 部分高架地板要做在防震平台上吗? 而且防震平台那有卖的呢 ? 请指教

全部回复(5 )

只看楼主 我来说两句
  • xuehexue
    xuehexue 沙发
    谢谢 有联系方式吗? 防微震研究所有联系方式吗? 网上搜不到

    2007-12-08 14:01:08

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这个家伙什么也没有留下。。。

洁净空调系统

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