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如何确定FAB洁净厂房的新风量？

我看过其他行业的人士对洁净厂房新风量确定的各种说法，感觉五花八门，好像都有理。

那我以“FAB洁净厂房新风量的确定”为题，来谈谈半导体芯片厂HVAC设计区别于其他产业的地方。

经验公式:FAB新风量＝工艺设备总排气量＋加压风量（相当于一次换气次数的风量）。

看看上式好像十分简单，里面的道理却不少。详细解释下次再细述。

发布于2006-09-26 22:53:26

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panzhenmei123

太精彩了，讨论太精彩了

2009-07-26 23:18:26 来自 PC 评论举报
sophia5993

终于看完了，跨度好几年，受益匪浅啊，学习！

2009-07-14 15:45:14 来自 PC 评论举报
caleb1984

看了好几页.

觉得没什么意思.把规范里的话写成公式,然后减掉可以忽略的那部分，有什么独创性?

觉得没什么讨论的价值.

由于现在厂房的密封性相对教好，在建造全是彩钢板做的洁净室时,我正压量还没取到1次呢,0.7次照样可以保持10Pa.

2009-07-10 13:34:10 来自 PC 评论举报
steven_zg

好贴啊，踩个脚印，有时间学习！

2009-07-09 14:02:09 来自 PC 评论举报
yaolip790526

非常精彩的贴！
我也不是学暖通的！但我也是做洁净设计的！
非常佩服楼主研究问题这么认真！而且非常善于总结经验！
我从开始时绘图员，慢慢涉及一点设计知识，外资企业其实也都是套用经验公式的！
就这个新风量我也是取最大估计是3次换气次数+排气风量！
面积大的事可以取一次换气次数的！
还有一般业主提供的排气量是有富余的！
大家的理论知识都比较扎实！
看来我得好好的充充电啊!

[ 本帖最后由 yaolip790526 于 2009-7-6 12:50 编辑 ]

2009-07-06 12:48:06 来自 PC 评论举报

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